芯东西 11 月 18 日报道，今天盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”，股票代码 688082）以发行价 85 元/股登陆科创板。

由于芯片制程的不断缩小，晶圆对杂质含量越来越敏感，而晶圆制造中不可避免会引入一些其他成分或杂质，清洗设备对于芯片良率、生产有种重要作用。盛美上海主营业务为半导体清洗设备，目前可用于 45nm 及以下的芯片生产。

盛美上海开盘价为 122 元，涨幅为 49%，其股价在 126-128 元/股左右维持了一段时间，之后攀升至 130 元/以上。截至芯东西成文，盛美上海股价为 136 元/股，涨幅 61%，总市值 595 亿元。

盛美上海的主营业务为半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。其中，半导体清洗设备为盛美上海的主要收入来源与技术优势业务。盛美上海是国内半导体清洗设备龙头，其清洗设备可用于 45nm 及以下的晶圆冲洗。

盛美上海报告期内营收呈递增趋势，2018 年-2020 年其各年营收分别为 4.65 亿元、6.27 亿元、8.96 亿元，2021 年上半年盛美上海营收为 6.25 亿元。

本次盛美上海计划融资 18 亿元，发行 4335 万股，所筹资金将用于“盛美半导体设备研发与制造中心”、“盛美半导体高端半导体设备研发项目”和“补充流动资金”3 个项目。

▲ 盛美上海募资使用情况

值得注意的是，早在 2017 年，盛美上海的控股股东美国 ACMR 就已在美国纳斯达克股票市场上市，股票代码为 ACMR。美国 ACMR 持有盛美上海 91.67% 的股权，美国 ACMR 董事长、首席执行官 HUI WANG 担任盛美上海的董事长。

▲ 盛美上海股权结构

01. 2013 年进入 SK 海力士产线，最大供应商提供机器手

盛美上海 2018 年-2020 年营收年均复合增长率为 35.31%，2018 年、2019 年、2020 年营收分别为 4.65 亿、6.27 亿元、8.96 亿元，2021 年上半年其营收为 6.25 亿元。

招股书提到盛美上海在报告期内营收增长原因主要有以下 2 点：

1、盛美上海不断推出新产品，进入新市场。2018 年，盛美上海首台后道先进封装电镀设备实现销售；2019 年，盛美上海实现槽式清洗设备、单片槽式组合清洗设备以及前道铜互连电镀设备 3 类新设备的首台销售。

2、全球半导体行业快速向中国大陆转移，盛美上海营收发展随中国半导体行业规模不断扩大。

净利润方面，盛美上海报告期内净利润也呈现增长态势。2018 年-2021 年上半年，各期净利润分别为 9253 万元、1.35 亿元、1.97 亿元和 8968 万元。

▲ 盛美上海 2018-2021 年上半年营收及净利变化

以业务类型划分，盛美上海产品共分为半导体清洗设备、半导体电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备 4 类，其中半导体清洗设备又可分为单片清洗设备、槽式清洗设备和单片槽式组合清洗设备。单片清洗设备则是盛美上海的主要收入来源，2020 年，该类业务收入占总营收比例达 73%。

▲ 盛美上海 2020 年各业务营收占比

盛美上海的客户主要为晶圆制造、先进封装、半导体硅片制造及回收、科研院所等 4 类。在晶圆制造领域，盛美上海客户有 SK 海力士、华虹集团、长江存储、中芯国际、合肥长鑫等；在先进封装领域，有长电科技、通富微电和中芯长电等；在半导体硅片领域，有上海新昇、金瑞泓、中国台湾合晶科技、中国台湾昇阳等；科研院所客户则有中科院微电子所、上海集成电路、华进半导体等。

长江存储、华虹集团和 SK 海力士在报告期内则一直是盛美上海的前三大客户。2009 年盛美上海 SAPS 清洗设备进入 SK 海力士进行产品验证，2011 年其用于 12 英寸 45nm 工艺的 SAPS 清洗设备首次取得 SK 海力士的正式订单，并于 2013 年获得了 SK 海力士的多台重复订单，进入了国际芯片巨头的产线。

▲ 盛美上海前五大客户情况

盛美上海作为半导体设备厂商，其原材料采购项目主要可分为气路类、机械类、物料传送类、电气类、特种装置类、驱动类等。截至 2019 年 9 月，由于盛美上海的控股股东美国 ACMR 为纳斯达克上市公司，其在境外采购原材料具有一定的市场和价格优势，因此其在 2018 年和 2019 年为盛美上海的第一大供应商。

去除美国 ACMR 后，NINEBELL 公司在报告期内一直为盛美上海第一大供应商，其供货产品为机器人手臂等。

▲ 盛美上海前五大供应商情况

02. 盛美上海产品线较为丰富，曾承担国家 02 专项课题

从全球半导体清洗设备市场来看，行业巨头厂商垄断了绝大部分市场份额。以单片清洗设备为例，中国台湾企业迪恩士、日本东京电子、美国泛林半导体和韩国 SEMES 四家公司合计占据了 90% 以上的市场份额，仅迪恩士一家的市场占有率就在 40% 以上。

目前，中国大陆能提供半导体清洗设备的企业较少，主要包括盛美半导体、北方华创、芯源微及至纯科技等。根据平安证券的研报，盛美上海和北方华创为国产半导体清洗设备龙头，两家 2019 年的全球份额分别为 3% 和 1%。

相比北方华创、至纯科技、芯源微等国产厂商在半导体清洗设备领域的产品，盛美上海具有 SAPS、TEBO 兆声波清洗技术和 Tahoe 单片槽式组合清洗技术等自研技术，不同清洗设备产线更加丰富。

2018 年-2021 年上半年各期，盛美上海综合毛利率分别为 44.19%、45.14%、43.78% 和 42.36%，整体较为稳定，与国产上市可比公司较为接近。

▲ 盛美上海与可比上市公司毛利率对比

截至 2021 年 6 月 30 日，盛美上海及控股子公司拥有已获授予专利权的主要专利 322 项，其中境内授权专利 152 项，境外授权专利 170 项，发明专利共计 317 项。此外，盛美上海主要承担了中国 02 专项中“20-14nm 铜互连镀铜设备研发与应用”、“65-45nm 铜互连无应力抛光设备研发”课题。

2021 年 1-6 月，盛美上海研发投入已超过 1.1 亿元，占营收比例达 18.33%，也其营收占比最高的一期。截至 2021 年 6 月 30 日，盛美上海手机有技术研发人员 295 人，占公司员工人数的比例为 42.02%。

盛美上海的核心技术人员共有 6 名，分别为董事长 HUI WANG、董事兼总经理王坚、副总经理陈福平、副总经理 SOTHEARA CHEAV、电气工程副总裁王俊和售后服务副总裁李学军，其中 HUI WANG、王坚、SOTHEARA CHEAV、陈福平同时为盛美上海董事会成员或高级管理人员。

HUI WANG 1978 年考入清华大学精密仪器系，1984 年他进入日本大阪大学攻读半导体设备及工艺硕士、博士。博士毕业后，HUI WANG 进入到美国辛辛那提大学电机系纳米实验室从事博士后研究。1994 年 2 月-1997 年 11 月，HUI MANG 任美国 Quester Technology Inc.研发部经理；1998 年至今任美国 ACMR 董事长、首席执行官、盛美半导体董事长。

▲ 盛美上海董事长 HUI WANG

王坚为机械专业硕士和计算机科学专业硕士，曾历任杭州西湖电视机厂技术员、日本富士精版印刷株式会社技术员等。2001 年 12 月，王坚加入盛美上海。至今，王坚为盛美上海总经理、董事，曾研发无应力铜抛光和电化学镀铜技术，参与申请发明专利 100 余项，负责多项重大科研项目。

陈福平为材料学专业硕士，此前曾出任海力士半导体（中国）有限公司工程师、副经理等职；2010 年，陈福平加入盛美上海，历任体项目经理、技术/体项目经理、技术经理、技术总监、资深总监。经理、技术总监、资深总监。

SOTHEARA CHEAV 为电子技术专业学士，其 2007 年 3 月至 2014 年 12 月历任盛美半导体制造部经理、制造部总监；2015 年 1 月至今任盛美半导体副总经理。

03. 盛美上海董事长 HUI WANG 为实际控制人

截至本招股说明书签署日，美国 ACMR 持有盛美上海 91.67% 的股权，为公司的控股股东。美国 ACMR 将通过公司股东大会行使股东权利；美国 ACMR 的董事长、首席执行官 HUI WANG 担任公司董事长，美国 ACMR 向盛美上海提名董事席位，并通过董事会、股东大会推进盛美上海的全球发展及经营战略的实施。

▲ 美国 ACMR 投票权比例情况

同时，HUI WANG 持有美国 ACMR 16.8 万股 A 类股股票和 11.4 万股 B 类股股票，合计持有美国 ACMR 投票权比例为 44.59%，并通过美国 ACMR 控制盛美上海 91.67% 的股权，为公司的实际控制人。

▲ 盛美上海股东名单及上市前后股权变化

04. 结语：国产清洗设备市场份额或扩大，关键供应商重要性较高

盛美上海作为国产半导体清洗设备龙头，其早在 2009 年就与 SK 海力士有所合作。本次盛美上海登录科创板将更有助于其流动资金和科研投入，对于国产半导体清洗设备在全球市场的比例有一定推动作用。

但同时，NINEBELL 等关键供应商在其经营中占据重要地位，在全球贸易争端加剧下，存在一定经营风险，需要投资者谨慎对待。

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