标签 > 标签文章:#新松# (共有1文章) 新松公司攻克新一代真空机械手:可传输晶圆,重复定位精度 0.02mm IT之家8月25日消息,8月21日~25日,2024世界机器人大会在北京举行,169家企业展出600余件创新产品。据介绍,真空机械手是芯片制造过程中,负责不同工位之间晶圆传输的关键设备,在尖端工艺制程中重复定位精度要求达到了0.02mm,相当于一根头发丝直径的1/5,该设备长期被国外企业垄断,是名副其实的“卡脖子”技术。▲ 新松Centaur真空机械手新松公司自主攻克新一代真空机械手技术 67 0 2024-08-25 09:45
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