标签 > 标签文章:#hyper-na# (共有1文章) ASML 着眼未来:考虑推出通用 EUV 光刻平台,覆盖不同数值孔径 IT之家5月23日消息,据荷兰媒体Bits&Chips报道,ASML顾问、前任CTO马丁・范登布林克(MartinvandenBrink)近日称,这家光刻机制造商考虑推出一个通用EUV光刻平台。范登布林克在本月21~22日举行的2024年度imecITFWorld技术论坛上表示:我们提出了一个长期(也许十年)的路线图:我们将拥有一个包含LowNA(0.33NA)、HighNA(0.55NA 36 0 2024-05-23 09:44
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